經濟導報記者 戚晨 謝衛振

　　10月16日，山東有研艾斯12英寸集成電路用大硅片產業化項目通線儀式在德州天衢新區舉行。該項目一期投資25億元，達產后可實現12英寸拋光片月產10萬片，是中國有研布局的重點項目，也是山東省內第一條12英寸集成電路用大硅片生產線。

　　通線當日，經濟導報記者走進山東有研艾斯生產車間，車間內工人們身著潔凈服進行操作，在線切割車間，單晶硅經過切割機操作被切割成厚度僅一毫米的硅片，而這僅僅是硅片切割的首個環節。經濟導報記者看到，清洗檢測是硅片出廠前的最后一道程序，透過操作車間玻璃可以看到，工作人員正操作專用儀器查看硅片表面顆粒數量及尺寸。

　　“硅片制作程序非常復雜，有線切割、倒角、研磨等40-50道工序，對平整度要求極高，硅片直徑300毫米，而頭發直徑只有100微米，但最終硅片出廠時最高與最低的平整度誤差不能超過0.1微米。”山東有研艾斯總經理閆志瑞介紹，作為山東唯一一家生產12英寸大硅片的企業，硅片直徑越大，對材料和技術的要求就越高，制造難度也越大，生產過程涉及亞微米甚至納米級別的結構，工藝穩定性、產品質量參數一致性、單臺設備產能和產品單位成本持續降低控制等都是需要考慮的因素。

　　“從8英寸到12英寸不僅僅是尺寸的變大。”閆志瑞對經濟導報記者表示，目前12英寸是全世界直徑最大的主流產品，硅片的直徑越大，可利用的面積比例越高，每一個集成塊的成本就越低，追根到底是一個成本的降低，該項目同樣也是山東省唯一一家制作12英寸硅片的廠家，全部達產后將形成360萬片/年大硅片的生產規模。

　　據悉，12英寸硅片技術參數要求比8英寸更高，各工藝環節需要長期積累，其中單晶工藝是最為核心的技術，其決定了硅片尺寸、電阻率、純度、氧含量、位錯、晶體缺陷，山東有研艾斯攻克了單晶微缺陷、硅片幾何尺寸、硅片表面沾污等關鍵技術指標，已在多家國內外知名集成電路制造企業開展產品驗證。隨著集成電路制程和工藝的發展，硅片趨向大尺寸化和制程精細化，12英寸硅片為當前及未來較長時間內的主流產品。

　　自2013年引進外資芯片封裝企業威訊聯合半導體公司開始，山東省德州市利用10年時間，推動電子信息產業實現了從無到有、多點開花的蝶變。目前德州擁有電子信息規上企業123家，去年實現主營業務收入近300億元。

　　德州集成電路產業歷經10年發展，從無到有，從起步到起勢，正處在加速發展期。目前，已初步形成涵蓋半導體材料、芯片設計、封裝測試、終端應用等環節的集成電路產業鏈。電子信息產業入選山東省戰略性新興產業集群和特色產業集群，正爭創國家級戰新產業集群。近五年來，半導體產業產值年均增長近20%。德州集成電路產業已成為山東半導體產業高質量發展的重要增長極。

　　德州天衢新區是德州發展半導體產業的主陣地，目前，德州天衢新區依托中國有研“集成電路關鍵材料國家工程研究中心”，打造了占地800余畝，總投資93.4億元的中國集成電路關鍵材料（德州）基地，包括8英寸、12英寸硅片、高純濺射靶材、刻蝕設備用硅材料等七個項目。全部達產后將形成年產6英寸硅片180萬片、8英寸硅片276萬片、12英寸硅片360萬片、12-18英寸硅單晶504噸、高純濺射靶材4.3萬塊、高純貴金屬213噸，將成為北方最大的集成電路用大硅片生產基地，使山東省躋身硅材料產業國內第一方陣、靶材產業遙遙領先。